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隔膜閥FVPDF-R144LC-EM2G款到秒發(fā)貨

發(fā)布時(shí)間: 2025-08-11  點(diǎn)擊次數(shù): 56次

隔膜閥FVPDF-R144LC-EM2G款到秒發(fā)貨

富士金隔膜閥的工作原理是通過(guò)機(jī)械加速機(jī)構(gòu)(如危急遮斷器或手動(dòng)遮斷滑閥)的單動(dòng)作或同時(shí)動(dòng)作,使透平油系統(tǒng)中的保安油油壓下降或消失,從而使壓縮彈簧打開(kāi)薄膜閥,將AST油通過(guò)無(wú)壓力回油母管排至EH油箱,進(jìn)而關(guān)閉所有閥門(mén)。

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線(xiàn)使用。

該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu),達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了小型化。

口徑:1/4"~1/2"使用壓力可達(dá)20.5Mpa 材質(zhì):SUS316L EP級(jí)處

應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè),或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).

應(yīng)用流體:設(shè)備和機(jī)臺(tái)里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.

工作壓力:低壓(1MPa),高壓(16.2MPa)

工作溫度: -10℃-80℃

動(dòng)作方式:手動(dòng)和氣動(dòng)

氣動(dòng)閥有常開(kāi)和常閉兩種初始狀態(tài)可選

連接方式:焊接、卡套、VCR等連接方式

表面處理:EP(標(biāo)準(zhǔn)),10Ra,Ry<1.0um; UP (可選):5Ra,Ry<0.7um.

接口尺寸:1/4"-3/4"

FVPDF-R144LC-EM1G

FVPDF-R166LC-EM1G

FVPDF-R144LC-EM2G

FVPDF-R166LC-EM2G

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